每经讯,据启信宝,新三板创新层公司瑞能半导(873928)新增专利信息,专利权人为瑞能半导,发明人是付红霞、章剑锋、崔京京。专利授权日为2023年7月28日,专利名称为“沟槽型MOSFET晶体管”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202320007254.0。
该专利摘要显示:本申请公开了一种沟槽型MOSFET晶体管,涉及半导体器件技术领域。该沟槽型MOSFET晶体管包括第一掺杂类型的衬底,衬底包括第一表面,第一表面上设置有第一掺杂类型的外延层;设置在外延层内的第二掺杂类型的阱区;设置在阱区内的栅极沟槽结构;栅极沟槽结构,包括设置在远离第一表面一侧的栅极;设置在栅极与栅极沟槽结构的底部之间的多个相互绝缘的第一场板,在平行于第一表面的方向上,各个第一场板具有相同的长度;栅极与第一场板之间绝缘;在垂直于第一表面的方向上,相邻两个第一场板之间的距离由各个第一场板的厚度确定。根据本申请能够保证沟槽型MOSFET晶体管内电场分布均匀,且简化制造工艺。
(记者 曾健辉)
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