至纯科技：公司制程设备覆盖半导体领域的各类设备，以湿法清洗设备为主

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问董秘，贵司说一季度21亿新签订单中制程设备2.12亿，是指清洗设备吗？贵司友商盛美称公司的清洗设备已经覆盖90-95%的清洗工艺，并称新客户在今年销售份额里占有较大比重。请问贵司清洗设备的覆盖工艺程度以及今年在半导体行业清洗设备新签订单的趋势如何？

至纯科技（603690.SH）6月29日在投资者互动平台表示，公司制程设备覆盖半导体领域的各类设备，以湿法清洗设备为主。公司湿法清洗设备在28纳米全部工艺工序段已通过验证并有重复订单。公司还领先突破了原来由国外垄断的单片SPM设备。

(记者 蔡鼎)

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